自檢功能通過內置的微處理器和多重冗余設計實現。在正常工作期間，發射器不僅發送用于檢測外部物體的調制紅外光信號，還同步向接收器發送包含狀態信息的編碼信號。接收器在接收光束的同時，會對接收到的數據進行實時解析和比對，驗證信號頻率、強度、時序是否符合預設參數，判斷光束是否完整對準且未受干擾。

同時，系統內部進行多路自我診斷。例如，檢測發射二極管是否老化或損壞，接收光電晶體管是否靈敏度下降，電源電壓是否穩定，電路板是否存在短路或斷路等。部分高端安全光幕還具備雙通道或三通道信號處理架構，通過交叉驗證確保邏輯一致性，一旦主通道異常，備用通道可立即接管并觸發安全輸出。

此外，安全光幕的輸出回路也具備自檢能力。其安全繼電器或半導體輸出通常采用雙通道設計，系統會周期性地進行回路測試，確認輸出觸點能夠正常斷開，防止因觸點粘連導致停機指令無法執行。

當自檢系統檢測到任何異常，如光軸偏移、信號衰減、內部元件故障或通信中斷，安全光幕會立即切斷安全輸出，使連接的設備進入停機狀態，并通過指示燈或通信接口發出故障報警，提醒用戶排查問題。

整個自檢過程是自動、連續且不可屏蔽的，符合IEC 61496等安全標準對“故障自診斷”和“安全完整性等級”（SIL或PL）的要求，確保在任何單一故障情況下，設備仍能保持安全功能，真正實現“失效安全”。